在線(xiàn)式真空等離子清洗機基本參數:
| 型號 | 在線(xiàn)式真空等離子清洗機 |
| 處理時(shí)間 | 2-3分鐘/循環(huán) |
| 輸入電壓 | 220V±10%（AC）50-60HZ |
| 輸出功率 | 2 * 1KW |
| 輸出電壓 | 8000-12000AC |
| 工作環(huán)境溫度 | -10℃-30℃ |
| 工作環(huán)境濕度 | 20%-90% |
| 工作頻率 | 40KHz |
| 產(chǎn)能 | 兩層托盤(pán)，尺寸定制 |
| 抽真空時(shí)間 | ＜40s |
| 真空度 | 5-100pa(可調) |
| 傳送裝置 | 三段式軌道，上下兩層中轉（可根據需求定制） |
| 真空泵組 | 油泵/干泵+羅茨增壓泵 |
| 可增變冷水機組 | 可選配 |
| 自主研發(fā)控制軟件 | 生產(chǎn)信息統計，MES系統對接、工藝參數調節等功能 |
| 工藝氣體 | 5路工作氣體可選：Ar2/N2/H2/CF4/O2 |
| 氣源 | CDA 0.5MPa- 0.6MPa，氣壓報警裝置 |
| 腔體溫度 | ＜30℃ |
| 有效處理寬幅 | 200mm-2000mm（可定制） |
| 等離子發(fā)生器頻率 | 40KHz/13.56MHz/2.45GHz（選配） |
| 傳動(dòng)電機 | 86伺服馬達 |
| 噴頭運行方式 | 往復式 |
| 噴槍火焰長(cháng)度 | 10mm-30mm |
| 輸入氣壓報警 | 菜單+聲光報警 |
| 射頻電源 | 13.56MHz |
| 溫度檢測裝置 | 設備加裝有溫度掃描儀，能實(shí)時(shí)監測到 |
在線(xiàn)式真空等離子清洗機產(chǎn)品特點(diǎn)：
在線(xiàn)式真空等離子清洗機可以實(shí)現溫度、真空值、反應氣體實(shí)時(shí)檢測；
整機采用PLC微電腦控制系統，無(wú)縫對接MES系統；
適合各種形狀產(chǎn)品，通用性高；
合理的等離子反應空間，使處理更均勻；
良好的安全性，多功能安全保護；可根據客戶(hù)需求定制。
自動(dòng)進(jìn)出料，可對接原有生產(chǎn)線(xiàn)，實(shí)現自動(dòng)化在線(xiàn)生產(chǎn)；
在線(xiàn)式真空等離子清洗機機器介紹:
反應倉
為了滿(mǎn)足快速高效的工業(yè)生產(chǎn),并基于對產(chǎn)品的需求,將等離子反應倉設計為小型長(cháng)方體,反應倉體內部尺寸,一方面減少了抽真空和壓力平衡的時(shí)間,提高了效率另一方面減少了氣體的消耗,節約了成本。此外,在倉體側面開(kāi)有一可視透明小窗口,可以通過(guò)此處檢查氣體放電的情況。
射頻等離子產(chǎn)生系統
射頻等離子產(chǎn)生系統包括射頻電源和射頻匹配網(wǎng)絡(luò ),射頻電源是等離子體放電的關(guān)鍵設備,等離子體反應器是利用其提供的能量,生成電子、離子等活性粒子,即等離子體。在電源的參數選擇方面,工作頻率為,射頻輸出功率為一的可調區間,主系統電源電壓為士,外接線(xiàn)路工頻為一,采用三相四線(xiàn)接法
真空系統
低壓等離子放電相對于常壓等離子放電,放電更穩定,粒子的自由程更長(cháng),等離子的活性更強,溫度更低,對高精密儀器的清洗傷害更小,放電開(kāi)始前需對反應倉體進(jìn)行抽真空,使用真空泵對倉體進(jìn)行抽真空,極限真空度小于或等于,真空泵在清洗物體放入后啟動(dòng),并在清洗過(guò)程中一直運行,保證倉體內壓力穩定在一個(gè)范圍內。
上、下料傳動(dòng)系統
上下料系統主要由機械手、傳送帶、升降機和滑動(dòng)導軌組成,在上下料系統中料盒可在豎直方向和水平方向移動(dòng)。豎直方向移動(dòng)由升降伺服電機帶動(dòng)升降平臺實(shí)現,升降平臺與料盒一起做豎直運動(dòng)。水平方向移動(dòng)由水平伺服電機帶動(dòng)料盒安裝板實(shí)現,機械手傳送機構完成物料的傳送。
