產(chǎn)品參數：
| 型號 |
TS-PL200MA |
|
電源頻率 |
40KHz/13.56MHz |
| 容量 | 200L |
| 功率 | 0-1000W(可調) |
| 腔體尺寸 | (長(cháng)寬高mm)500*580*700 |
| 處理層數 | 21層 |
| 外形尺寸 | (長(cháng)寬高mm)1250*1230*1790 |
| 真空泵 | 油泵/干泵+羅茨組合 |
| 真空度 | 5-100pa(可調) |
| 腔體材質(zhì) | 316不銹鋼/進(jìn)口鋁合金(選配) |
| 氣體流量控制 | 0-500SCCM(MFC±2%) |
| 氣體通道 | 兩路(可增加):Ar/N2/H2/CF4/02 |
| 等離子體發(fā)生器 | 40KHz/13.56MHz |
| 腔體溫度 | ＜30℃ |
| 控制方式 | PLC+觸摸屏 |
| 系統控制軟件 | 自主研發(fā)V2.0 |
| 電極陶瓷 | 進(jìn)口高頻陶瓷 |
真空等離子清洗原理：
等離子體清洗技術(shù)利用高能量等離子體的轟擊被清洗表面，通過(guò)物理作用使得污染物從金屬表面脫落，同時(shí)，電離氣體產(chǎn)生的活性粒子會(huì )與表面的有機物或者氧化物等發(fā)生化學(xué)反應進(jìn)而生成易于揮發(fā)的物質(zhì)，脫落物質(zhì)通過(guò)真空泵的抽氣作用排出以達到清洗的效果。等離子清洗技術(shù)具有操作簡(jiǎn)便、成本低等優(yōu)勢。
真空等離子清洗機應用：
金屬表面去油及清潔
金屬表面常常會(huì )有油脂、油污等有機物及氧化層，在進(jìn)行濺射、油漆、粘合、健合、焊接、銅焊和涂覆前，需要用等離子處理來(lái)得到完全潔凈和無(wú)氧化層的表面。在這種情況下的等離子處理會(huì )產(chǎn)生以下效果。
塑料、玻璃和陶瓷的表面活化和清潔
塑料、玻璃、陶瓷與聚丙烯、一樣是沒(méi)有極性的，因此這些材料在印刷、粘合、涂覆前要進(jìn)行處理。同時(shí)，玻璃和陶瓷表面的輕微金屬污染也可以用等離子方法清潔。等離子處理與灼燒處理相比不會(huì )損害樣品。同時(shí)還可以十分均勻地處理整個(gè)表面，不會(huì )產(chǎn)生有毒煙氣，中空和帶縫隙的樣品也可以處理。
氧化物去除
金屬氧化物會(huì )與處理氣體發(fā)生化學(xué)反應，這種處理要采用氫氣或者氫氣與氬氣的混合物。有時(shí)也采用兩步處理工藝。第一步先用氧氣氧化表面，第二步用氫氣和氬氣的混合物去除氧化層。也可以同時(shí)用幾種氣體進(jìn)行處理。
焊接前處理
通常，印刷線(xiàn)路板在焊接前要用化學(xué)助焊劑處理。在焊接完成后這些化學(xué)物質(zhì)必須采用等離子方法去除，否則會(huì )帶來(lái)腐蝕等問(wèn)題。
鍵合前清洗
鍵合好的鍵合常常被電鍍、粘合、焊接操作時(shí)的殘留物削弱，這些殘留物能夠通過(guò)等離子方法有選擇地去除。同時(shí)氧化層對鍵合的質(zhì)量也是有害的，也需要進(jìn)行等離子清潔從而提高焊接的穩固性。
