產(chǎn)品參數：
| 型號 |
TS-PL10MA |
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真空腔規格 |
材質(zhì)316不銹鋼 |
| 腔體尺寸 |
L200mm*W270mm*H200mm |
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電極 |
平板氣浴電極 材質(zhì)6061-T6鋁合金 |
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功率電極 |
1 |
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接地電極 |
1 |
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電極尺寸 |
180mm *230mm（最大可處理產(chǎn)品尺寸規格） |
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頻率 |
13.56MHz |
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功率 |
0-300W連續可調，精度1W,可在設備運行中隨時(shí)調整參數 |
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氣體控制 |
精密針閥式浮子流量計， 0-1000ml |
| 氣體通道 | 2路（可增加） |
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真空度測量?jì)x器 |
2色顯示式高精度數字式壓力開(kāi)關(guān)（SMC） |
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控制方式 |
4.3寸工業(yè)控制觸摸屏，全手動(dòng)控制和全自動(dòng)控制兩種控制方式 |
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控制軟件功能 |
界面顯示實(shí)時(shí)工作狀態(tài) |
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電極板配置 |
配備3個(gè)卡槽位（接地電極），極板間距離可調整，可按需求調整極板位置 |
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設備規格尺寸 |
長(cháng)500mm 寬550mm 高800mm |
產(chǎn)品特點(diǎn)：
? 卓越的密封性腔體:采用進(jìn)口316不銹鋼腔體，軍工級的高真空度真空腔體設計及制造工藝。
? 高密度等離子電源技術(shù)：采用進(jìn)口等離子電源電路技術(shù)，確保出眾的清洗效果。
? 獨有放電技術(shù)：特殊處理的放電裝置，確保形成穩定均勻的等離子體。
? 高精度氣體流量監測系統：兩種工藝氣體配置(氬氣、氧氣等非腐蝕性氣體），雙路氣流控制，比例可調，采用MFC質(zhì)量流量計、氣體管路及閥件。
? 優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品部件：產(chǎn)品部件采用國內外頂尖優(yōu)質(zhì)品牌，確保設備性能優(yōu)越。
? 數字計時(shí)單元：1-9999s選擇范圍時(shí)間顯示，處理過(guò)程結束后自動(dòng)終止。
? 適用形狀復雜樣品：清洗各種復雜形狀的產(chǎn)品，包括內孔內壁，全方位均勻清洗。
? 處理全程無(wú)污染 ：等離子清洗機本身是很環(huán)保的設備，無(wú)產(chǎn)生任何污染，處理過(guò)程也無(wú)產(chǎn)生任何污染。
